高低温真空探针台的用途

高低温真空探针台的用途

高低温真空探针台，是一款为晶片、器件和材料（薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和高低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。

高低温真空探针台在不同测试环境、不同温度条件下可对微结构半导体器件、微电子器件及材料进行电学特性表征测试。

SCG系列高低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，广泛应用于半导体工业（芯片、晶圆片、封装器件）、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域。

SCG高低温真空探针台是SEMISHARE多年来技术积累的创新成果，同时SEMISHARE也是国内最早自主研发推出的高低温真空探针台，SCG高低温真空探针台能够实现样品在真空高低温环境下的精确电性、光强、波长、磁场等测试。2016年，SEMISHARE参与由哈工大和中国航天科技集团共建的“空间环境地面模拟装置”部分技术设计项目，其在超低温，超高真空，自动控制，激光模拟方面发挥着独有的技术优势，该设备获得国家多项技术发明专利（专利号：201910551107.8）

SCG系列应用：

1.高低温真空环境下的芯片测试;

2.LD/LED/PD测试;

3.光纤光谱特性测试;

4.材料/器件的IV/CV特性测试;

5.霍尔测试;

6.电磁输运特性;

7.高频特性测试等;

高低温真空探针的操作方式请查阅下篇文章！