Simone四探针测试技术
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四探针测试技术是通过四根等间距探针接触半导体表面实现电阻率测量的电学方法。外侧两根钨丝探针施加0.5-2mA恒定电流，内侧两根探针检测电压信号，通过公式计算得出电阻率值。针对厚度W远小于长宽的半导体圆片，采用简化公式ρ=4.532W(V/I)进行快速计算，其中4.532为C型几何修正系数，适用于直径≥40mm的标准圆形样品 。
该方法特别适用于薄膜材料测量，其核心优势在于消除接触电阻影响，测量结果仅与材料电阻率和膜厚相关 。主要设备包含恒流源、电位差计和探针阵列三部分。
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