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X射线波谱仪

X射线波谱仪

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X射线波谱仪

X射线波谱仪,又称电子探针或微区X射线光谱分析仪 ,是一种利用电子束作为激发源的微区成分分析仪器。其工作原理是用聚焦的电子束轰击样品表面,激发试样中各元素的特征X射线,根据特征X射线的能量或强度,对试样微小区域所含元素进行定性或定量分析 。

X射线波谱仪具备点、线、面等多种分析模式 ,可分析直径1 μm~100 μm的微区、深度为几 μm区域内的元素浓度分布 。该仪器主要应用于地质、金属、材料、生物医学等领域的元素分析 。

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